アイディア

知識

技術力

様々な課題を解決します。

当社は半導体製造装置の真空領域の消耗部品の製造販売を主とし、「製作」「改造」「修理」「表面処理」を行っております。
アルマイトや熔射についても何種類もございますので、用途に合わせたご提案が可能です。

BUSINESS

お悩み事例

  • 陽極酸化被膜の耐プラズマ性を向上させたい。
  • 皮膜角部が弱い。耐久性を上げられないか?
  • 消耗品交換でコストがかさむ。代替品などを使用してみたいが、不安が多く踏み出せない。
  • 陽極酸化被膜+溶射(Y2O3)の密着力を上げたい。

その他様々なご要望を解決しております。

FEATURES

独自の技術と提案力
弊社独自の技術は徹底的な解析データに裏付けされ成り立っております。
そのデータを基に問題点、対応策を検討しお客様に提案してまいります。
・SEM解析 ・EPMA 解析等
0.3μクラス100の
クリーンルーム保有
弊社製品は納入後お客様がすぐに使用出来るように、部品洗浄においては専門洗浄メーカー様と提携、最終パッケージについては弊社所有の0.3uクラス100のクリーンルーム内でパッケージしております。
多種に対応
アルマイト処理
・硫酸アルマイト
・蓚酸アルマイト
・混酸アルマイト
・ハイブリットアルマイト
・内部浸透型アルマイト
各種ご要望に応じて対応致します。

FEATURES

PRODUCTS

・ボトムガスリング
・ハイブリッド皮膜対応製品
・DPS Upper Chamber
・内部特殊溶射施工品
・P5000 Process Chamber
・内部のみ再生品
・Cooling Upper Plate
・特殊素材対応品

PRODUCTS

CONTACT

ご相談・ご質問等ございましたら、
お気軽にお問い合わせください。

TEl 097-579-6587

(営業時間:9:00~17:00 / 定休日:土曜日・日曜日・祝日)

FAX 097-579-6581

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